全新SMC3通电磁阀选择要点

减少洁净室内的微粒。
根据工件发尘量可分为1~4个。
根据清洁室内的清洁程度选择使用。
使用氟素系润滑脂。
使用带电防止袋并双层密封。 
无铜/无氟/
无硅系列
＋低发尘 21-/22-  ##限制使用铜/氟/硅材质的环境下使用。
使用锂皂基系润滑脂。
尺寸与洁净系列。
密封为普通密封(不采用双层密封)。
无铜/氟离子系列 
名称 系列 特长/规格
无铜离子/无氟素系列在限制铜离子氟素的环境下使用。
外形尺寸与标准件。
离子注入
将可控数量的离子(硼、
磷)注入到硅片上，高
温扩散后，使得其电化
学性能显著改变。

全新SMC3通电磁阀选择要点

光掩膜形成
将IC回路投射到光掩
膜版上，为下一步的曝
光做准备。刻蚀
——显像，仅未被曝光部分
的感光膜被保留。接着，将
其浸入腐蚀液中，或者暴露
在气体离子体中，仅曝光
部分被腐蚀，氧化膜上出现
穿孔，硅片上的硅面便显现
出来。CMP（平坦化）
将硅片表面研磨成
镜面状,便成为IC
用的硅片。。搬送工件时，因始动及行程末端的冲击，可能会对工件有影响。缓和该
冲击、保护工件、减轻发尘、提高率是我们所追求的。
按搬送系统的目的，按功能可分成搬运、进给、推压(固定)、提升、回转

CDM2B20-25Z 

SY9220-4D-03 AC220V 

VXD245HZ1B

CD55B63-50M   

CM2B25-65Z

VQZ3221-5Y1-02

VQZ3121-5Y1-02

3C-IS10-01-6L

CS2D160-300  SMC

VFR6110-5DZ-10 SMC