CKD气控阀,喜开理气控阀样本
：使用前请确认产品构成材料与使用流体及周边环境是否适用。
注2 ：使用氢氟酸或者含有氢氟酸的化学液体时，
请在5~80°C范围内使用。
如果连接方式为F-LOCK60系列配件，温度范围变为5~100°C。
Cv值是温度为23°C时的值。
使用流体纯水、化学液体、空气、氮气（注1）
流体温度°C 5~120 （注2、注3）
耐压MPa 1.0
使用压力（A→B） MPa 0~0.5

CKD气控阀,喜开理气控阀样本

在使用半导体以及LCD制造的清洁化学液体（包括纯水）的设备
内，用于控制化学液体压力的减压阀
■对异物非常敏感的内置型过滤器
■流量、压力特性良，安装简单
■良的耐腐蚀性
接液部位使用氟树脂（PFA、PTFE）和SUS316，可发挥良的耐腐蚀性
■压力及流量特性
使用氟树脂膜片，与金属膜片相比，压力和流量特性更加
■由于过滤器为内置型，更能流体内无异物，更安全
■采用面板安装，使安装过程更加容易，也可以在底部进行安装
使用压力（B→A） MPa 0~0.5
阀座泄漏cm3/min 0 (水压时)
背压MPa 0~0.5
环境温度°C 0~60
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